小型化高精度绝对式圆时栅传感器研究
精密位移测量技术作为位移测量领域发展的主流，广泛应用于高档数控机床、智能制造装备以及国防军工武器装备等领域。随着技术的进步，对角位移编码器的要求也越来越高，既要满足高精度测量，又要实现绝对位置测量，还要满足编码器小型化。目前市场上应用最多的编码器是绝对式光栅编码器，由于光栅编码器市场占有率高，而且编码技术和制造工艺复杂，光栅编码器一直代表高精度绝对式编码器的尖端领域，国内尚无能力研发制造，因此国内使用的光栅编码器大都是从国外发达国家进口。但掌握光栅精密测量技术的国外发达国家对我国在高精度绝对式角位移光栅产品上实行技术封锁，中低端产品上实行价格垄断，这严重影响我国的经济发展和国防安全。因此，小型化高精度绝对式角位移传感器的研发显得必要且迫切。
- 2021-07-01
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