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面向单晶SiC原子级表面制造的等离子体辅助抛光技术

目前Si基半导体由于其自身材料特性的限制,已经越来越难以满足高速发展的现代电力电子技术对半导体器件的性能要求。SiC作为新一代半导体材料具有显著的性能优势,但由于其属于典型的难加工材料,实现SiC晶圆的高质量与高效率加工成为了推动其产业化应用进程的关键。本综述在回顾近年来SiC超精密加工技术研究进展的基础上,重点介绍了一种基于等离子体氧化改性的SiC高效超精密抛光技术,分析了该技术的材料去除机理、典型装置、改性过程及抛光效果。分析结果表明,该技术具有较高的去除效率,能够获得原子级平坦表面,并且不会产生亚表面损伤。同时针对表面改性辅助抛光技术加工SiC表面过程中出现的台阶现象,探讨了该台阶结构的产生机理及调控策略。最后对等离子体辅助抛光技术的发展与挑战进行了展望。

  • 2022-01-27
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石墨烯产业化现状、关键制备技术突破与商业应用展望

石墨烯被誉为 21 世纪的战略性新兴材料。从 2004 年被两位英国物理学家通过撕胶带的方式获得,其优越性能被大众认识,到 2010 年这两位科学家被授予诺贝尔物理学奖,再到 2018 年 MIT 青年科学家曹原及合作导师发现双层石墨烯魔角超导现象掀开新的研究篇章,石墨烯的突破性理论研究成果在短短十几年时间中如雨后春笋般出现。

  • 2022-01-27
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大型活动保障解决方案

浙江大华技术股份有限公司是领先的监控产品供应商和解决方案服务商,面向全球提供领先的视频存储、前端、显示控制和智能交通等系列化产品,并提供提供热成像测温和黑体测温设备。

  • 2022-01-28
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地铁安防应用之数字化、智能化和存储解决之道

城市轨道交通是城市公共交通的骨干。它具有节能、省地、运量大、全天候、无污染(或少污染)又安全等特点,属绿色环保交通体系,符合可持续发展的原则,特别适应于大中城市。城市轨道交通种类繁多,按照用途可分为城市铁路、市郊铁路、地下铁道、轻轨交通、城市有轨电车、独轨交通、磁悬浮线路、机场联络铁路、新交通系统等。近年来,我国城市轨道交通发展迅猛,目前已经建成或正在兴建的城市轨道交通几乎包括了上述各种类型,已有30多座城市建成了或正在新建、或拟就了建设规划。

  • 2022-01-28
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东洲物联基于物联网的交通运输安全管理方案

如何管好货运车辆,确保货物运输安全可视,G7安全设备全掌控,保障在途安全,全程可视化司机安全,运输交付更放心,实时监控司机在途驾驶状态,有效降低事故的发生

  • 2022-01-28
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东洲物联水环境联网监测解决方案(1)

水环境物联网监测解决方案 CONTENTS 目录 水质监测解决方案 环境监测解决方案 成功应用案例分析 02 水环境监测解决方案 当前我国水资源面临的形势十分严峻,水污染严 重

  • 2022-01-28
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东洲物联智慧路灯解决方案

智慧路灯,智慧灯杆,智能照明,新能源汽车充电灯,规模大,公共照明,发布安防,覆盖维尔照明,功能齐全,城市照明系统,浑然天成,融合科技实力,巧妙的集成了智能照明

  • 2022-01-29
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东洲物联物联网及ICT行业应用介绍

作为每年年末最重要的国家级ICT行业盛会,各大企业将以丰富的案例和场景展示这一年中的重要产品、案例和成果。同期举办的ICT中国 · 高层论坛也将为ICT产业链提供政策解读、技术研发

  • 2022-01-28
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