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面向单晶SiC原子级表面制造的等离子体辅助抛光技术

目前Si基半导体由于其自身材料特性的限制，已经越来越难以满足高速发展的现代电力电子技术对半导体器件的性能要求。SiC作为新一代半导体材料具有显著的性能优势，但由于其属于典型的难加工材料，实现SiC晶圆的高质量与高效率加工成为了推动其产业化应用进程的关键。本综述在回顾近年来SiC超精密加工技术研究进展的基础上，重点介绍了一种基于等离子体氧化改性的SiC高效超精密抛光技术，分析了该技术的材料去除机理、典型装置、改性过程及抛光效果。分析结果表明，该技术具有较高的去除效率，能够获得原子级平坦表面，并且不会产生亚表面损伤。同时针对表面改性辅助抛光技术加工SiC表面过程中出现的台阶现象，探讨了该台阶结构的产生机理及调控策略。最后对等离子体辅助抛光技术的发展与挑战进行了展望。

  • 2022-01-27
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基于规划委员会制度建设的城市设计实施路径探索

通过对各地具体做法进行归纳总结发现，目前我国城市设计主要有四种实施路径：①替代控制性详细规划，将城市设计成果直接作为规划实施管理的依据。其代表有深圳部分片区、苏州新加坡工业园区。②将城市设计与控制性详细规划共同作为实施规划管理的依据，如《天津市城乡规划条例》明确了城市设计和城市设计导则的法定地位，要求设计单位必须按照规划要求、城市设计导则的有关规定，进行规划设计和建设工程设计。③将城市设计有关要求纳入控制性详细规划，即将城市设计作为制定控制性详细规划的前期分析工具，主要应用于城市发展的重点区。④将城市设计仅作为辅助性参考，政府在提出规划条件、审查方案和作出许可时仍以控制性详细规划为准。

  • 2022-01-27
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新时期宁波市分区规划编制的创新与实践

上位规划的意图和刚性内容无法有效传递给下位规划，是现阶段城乡规划体系最主要的问题之一。可见，强化刚性内容向下位规划的传递，是确保规划权威性的前提。而分区规划作为承上启下的规划，保证总规确定的战略意图和强制性内容能有效传递给下位控规，是其存在的重要意义。因此，分区规划需要创新编制方法和内容，以简单、有力的方式，强化刚性内容的有效传递。

  • 2022-01-27
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基于“蓝网”结构的滨水小街区重构解析

早期的欧洲城市路网多为密集格网，呈现 80 ～120m的小尺度街坊形式，如伦敦、柏林等城市。美国早期作为殖民地延续了欧洲的城市建设思想，城市路网呈现规则小方格网格局，如纽约、费城等城市。20世纪初，随着小汽车的出现和普及，城市规划思想逐渐围绕车行交通、建造高效路网展开，如田园城市、光明城市，街区向大尺度方向发展。

  • 2022-01-27
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从模式化到定制化的街道语言设计

从我国街道家具规划设计的编制情况看，由于目前理论研究和专项规划的相对缺乏，学界对街道家具规划并未制定统一、明确的标准和规范。现有街道家具主要依附于上位城市设计进行指引或基于主次支街道分级体系的市政街道设计进行规划，就规划内容而言呈现单一化趋势，以指引标识、路灯、垃圾桶和公交站台为主。而实际生活中的街道家具要素由于街道功能和属性的不同，往往需要包含更多内容，如商业步行街两侧的休闲座椅、报刊亭，以及居住社区周边街道的自行车租赁、停放驿站等。

  • 2022-01-26
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城市人口空间重构及规划响应

武汉，作为中部地区最重要的大都市之一以及典型的“移民城市”（外来人口近300万），其发展历来备受关注。截至2014年底，武汉共辖13个区，常住人口总数为1033.8 万，土地面积为8569km2；GDP总量为10069亿元，其中第一产业、第二产业、第三产业的产值之比为1∶14∶14，第二产业和第三产业的产值基本持平。

  • 2022-01-26
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海洋生态文明视角下海湾区域规划布局探索

象山港区域是宁波市“三湾”（杭州湾、象山港和三门湾）中生态价值最为突出的海湾。该区域是全国海洋生物繁殖育种的重要基地、东海舟山渔场鱼类洄游产卵基地，港内海域500m2以上的无居民岛屿有59个，岛屿总面积约为10km2，海域水体透明度平均达到1.05m，形成了一个不可多得的完整海洋生态系统。

  • 2022-01-26
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微更新理念在西安老城更新中的运用

西安自建城以来已有3100 多年的历史。周朝时期，统治者在今西安西郊洋河东西两岸建立统治中心，即世界上最早的双子城—丰镐二京，后周平王迁都洛邑，二京废弃。秦孝公十二年，秦人于渭水北岸筑咸阳城。秦灭亡后，西汉统治者于渭水南岸开始营建新都—长安城，汉长安立城800年，至西晋末年颓毁。由此，隋朝统治者在汉长安南部择址再筑新城，隋开皇二年先建大兴宫城，隋大业九年再修筑外郭城。唐朝则在隋大兴城的基础上将其改名为唐长安城。今天的西安就是建立在唐长安城旧址上，尽管城市在发展中不断向外扩张，但其地理区位却没有再发生过变化。

  • 2022-01-26
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