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大直径硅片超精密磨削技术的研究与应用现状

随着IC制造技术的飞速发展,为了增加IC芯片产量和降低单元制造成本,硅片趋向大直径化,原始硅片的厚度也相应增大以保证大尺寸硅片的强度;与此相反,为了满足IC封装的要求,芯片的厚度却不断减小,需要对图形硅片进行背面减薄。硅片和芯片尺寸变化所导致的硅片加工量的增加以及对硅片加工精度和表面质量更高的要求,使已有的硅片加工技术面临严峻的挑战。本文详细分析了传统硅片加工工艺的局限性,介绍了几种大直径硅片超精密磨削加工工艺的原理和特点,评述了国内外硅片超精密磨削技术与装备研究和应用的现状及发展方向,强调了我国开展大直径硅片超精密磨削技术和装备研究的必要性。

  • 2022-01-28
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基于WebService的智能电测仪器HMI实现_闵建

基于,webservice,的,智能,电,测,仪器,hmi,实现,闵,建

  • 2022-01-28
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电解制氢与高温燃料电池在电力行业的应用与发展

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  • 2022-01-28
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氢能与燃料电池的研发及商业化进展-1

氢能与燃料电池的研发及商业化进展-氢能与燃料电池的研发及商业化进展-1.pdf.pdf

  • 2022-01-28
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发挥氢源优势构建中国特色氢能供应网络

发挥氢源优势构建中国特色氢能供应网络.pdf新能源

  • 2022-01-28
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氢能——我国未来的清洁能源

氢能——我国未来的清洁能源.pdf氢能——我国未来的清洁能源.pdf

  • 2022-01-28
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使用区块链技术来实现责任制医疗的扩展及采用

区块链发展现状和趋势,分析了核心关键技术及典型应用场景,提出了我国区块链技术发展路线图和标准化路线图等相关建议。内容详实、分析透彻,具有较好的参考价值。希望各界共同努力,积极把握区块链发展趋势和规律,营造良好的发展环境,加速推动我国区块链技术和产业发展。

  • 2022-01-28
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高导热涂层也是一种加强电子器件散热的绝佳方式

电子设备及集成电路的缩小化、智能化,元器件密度和功率不断增加,使得电子设备的高效散热成为行业的发展重点。目前,针对提高电子器件及设备导热性能,可以采用导热硅脂等热界面材料,以及向基体材料中添加具有高热导率的导热填料,来提高散热效率,且其应用较为广泛。另外可以将金刚石、石墨烯、碳纳米管作为增强相来制造复合材料,虽然其热导率最高可达600W/(m·K),但其制备工艺复杂,制作成本较高,因此实际应用较为困难。

  • 2022-01-27
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