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碳化硅单晶衬底精密加工技术研究

SiC 作为第三代半导体材料的核心之一,是半导体界公认的“一种未来的材料”,是 21 世纪有广阔发展潜力的新型半导体材料 [1]。与 Si、GaAs相比,具有禁带宽、导热率高、电子饱和漂移速率大、化学稳定性好等优点,被用于制作高温、高频、抗辐射、大功率和高密度集成电子器件。利用其宽禁带的特性还可以制作蓝、绿光和紫外光的发光器件和光电探测器。本文简单介绍了 SiC 材料的结构和特性,以及其在半导体领域的应用,重点分析研究了 SiC单晶衬底精密加工技术,即减薄 - 研磨 - 抛光技术的方法、原理,以及加工工艺参数对衬底加工效率及表面质量的影响,对提高 SiC 单晶衬底加工工艺具有重要的指导意义。

  • 2022-01-28
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金刚石砂轮的现状与展望

 金刚石、CBN砂轮是超硬材料工具中最典型的一种工具,是以金刚石或CBN为磨料,借助于结合剂或其它辅助材料,在一定的生产条件下制成的具有一定形状、性能和用途的产品。金刚石、CBN砂轮按结合剂种类主要可分为金属结合剂、陶瓷结合剂、树脂结合剂。随着超硬材料工具技术的发展,其可加工的对象几乎囊括了所有的已知材料,大大提高了各种机械精密加工领域的加工效率、加工质量,尤其是作为高速、精密、数控、微细加工等先进制造技术的重要组成部分,其应用主要有两大领域:一是硬脆材料加工领域,主要指蓝宝石、单晶硅、多晶硅、磁性材料、碳化硅、耐火材料、玻璃、地质钻探等硬脆材料加工领域;二是各种机械精密加工领域,主要指电子、机械、汽车、新能源等精密加工领域。按其用途的不同,又可分为:金刚石磨削砂轮、金刚石锯切砂轮片、金刚石钻探刀头等几个大类。

  • 2022-01-28
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切割晶圆及玻璃产品的现代技术与设备

由于需以各种非金属半导体材料晶圆制造使用价值低之微电子产品,对其加工高精度及品质改善的要求更为严苛,因此研究效率高的晶圆切割方法有其必要性。本文将探讨得以加工昂贵复杂之装置的高效晶圆切割法,笔者透过实验证明应用激光控制热裂解法的效果,提出将该方法导入玻璃、硅、蓝宝石及其他脆性非金属材料精密切割的优势与成果。

  • 2022-01-28
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激光加工设备市场规模及新兴应用市场分析

激光加工设备属于技术、专业性较强的精密产品,已成为发展新兴产业、改造传统制造业的关键技术设备之一。激光设备行业庞大且应用广泛,目前已形成完整、成熟的产业链分布。从激光产业的产业链分布可以看出,激光产业链主要包括:上游材料与元器件行业,主要含组建激光加工设备的光学、机械、电控、气动零部件的制造,以及相关控制平台与软件系统的研发;中游激光加工设备制造业;下游应用行业,主要包括激光加工的在汽车、钢铁、船舶、航空航天、消费电子、高端材料、半导体加工、机械制造、医疗美容、电子工业等行业中的应用。

  • 2022-01-28
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公检法云数据中心解决方案

为提高信息部处理公司网络通讯畅通,形成科学、有效、反应迅速的应急工作机制,确保网络系统的安全和高效,最大限度地减小通讯故障对生产的影响,保护公司利益,特制定本预案。

  • 2022-01-24
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德国法兰克福市100%可再生能源发展之路及启示_胡润青

德国,法兰克福,市,100,可再生能源,发展,之路,及,启示,胡,润,青

  • 2022-01-24
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近期东北地区可再生能源发展适应性研究_孙雷

近期,东北地区,可再生能源,发展,适应性,研究,孙,雷

  • 2022-01-24
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关于数据要素市场化配置的一些思考

2020年从中央密集部署,到地方投资项目积极响应,再到资本市场表现,可以说“新基建”正在风口,迎来了元年。2020年同时也是中国经济转型的关键之年,在经济下行压力加大的现实下,“新基建”被赋予了更多稳增长、稳就业的期望。然而新基建的发展离不开数字化的进步,4月9日,中共中央、国务院公布了《国务院关于构建更加完善的要素市场化配置体制机制的意见》(以下简称《意见》),与“新基建”当前的重视和发展可谓相得映彰、近相呼应。

  • 2022-01-20
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