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单晶碳化硅晶片高效超精密抛光工艺

目前，国内外学者研究了许多碳化硅衬底平坦化技术，如机械研磨［1－2］、磁流变抛光［3］、离子束抛光［4－5］、化学机械抛光［6－7］ 等． 为了获得一定的形状，一般采用数控研抛技术对碳化硅反射镜进行研磨，其材料去除机理为机械破碎去除，会对工件造成一定的微损伤［1－2］． 王芳杰等［3］进行 6H－SiC 单晶片的磁流变抛光工艺实验，最终获得的加工表面粗糙度 Ｒa 为 0． 5 nm，亚表面破坏层深度为 1． 5 nm． Deng 等［4－5］提出等离子体辅助抛光单晶碳化硅的方法，借助大气压下水蒸气等离子体辐射进行表面改性并使用 CeO2磨料抛光，获得无损伤和原子级平坦化的碳化硅表面，但抛光前需要对表面进行适当的改性处理． Chen 等［6］采用硅溶胶对机械研磨后的碳化硅衬底进行化学机械抛光，获得表面粗糙度 ＲMS0．096 nm 的超光滑表面．

  • 2022-01-28
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医用高分子材料产品加工技术与设备

是一种微细介入导管机头的双管挤出式结构，当物料进入人字形机头体后，在分流锥的作用下逐渐分成两股，分别进入单管流道并独立成型，一次可连续成型两根导管。图5所示一种共挤出机头结构，采用共挤出技术制造的多层管具有单层管所没有的物理性质。共挤出成形管的内壁或外壁通常具有一层或多层厚度为0.002 至0.005 英寸的涂层薄皮。薄皮能与较厚的（0.005 至0.100 英寸）主要内层或中间过渡层组合在一起。外皮能够避免功能层材料的损伤，或防止管件的内置物与使用者和/或其他内置物相互接触。

  • 2022-01-28
  • 阅读152
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超精密加工机床系统研究与未来发展

现代超精密加工机床与系统已应用到当代多个高端技术领域，在推动科技进步方面发挥着重大作用。总体上，我国该项技术与国际先进水平还有较大差距。瞄准未来发展方向，抓住主要矛盾，突破关键技术，适应发展需求，对推动我国科技进步，加强国防建设具有重大意义。

  • 2022-01-28
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从磨削到精加工：增材制造的后处理解决方案

增材制造在航空航天和医疗市场的广泛使用促使人们不断提高对精加工增材部件表面的要求，以满足最终应用需求。增材制造工艺能够生产出接近最终形状的组件，显著降低了最终精加工的需求。通过增材制造，可以降低材料浪费率，有利于整体制造工艺，但是这也意味着后续的精加工过程对后处理技术和一致性的要求越发严苛。

  • 2022-01-28
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基于聚酰亚胺的高导热石墨膜材料的研究进展

近年来，随着电子设备的小型化、轻量化，高导热石墨膜材料受到广泛关注。本文综述了聚酰亚胺（PI）基石墨膜材料的制备，详细介绍了石墨膜性能的影响因素，主要涉及分子结构、分子取向和其他材料的诱导作用等，简述了石墨膜复合材料的研究和专利近况，并对未来石墨膜材料的研究方向提出了建议与展望。

  • 2022-01-27
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CVD金刚石表面增透膜的研究进展

CVD 金刚石膜因特有的物理化学性质，具有发展成为新一代光学材料的前景。但由于 CVD 金刚石膜自身局限性导致其理论透过率不到 71%，在金刚石膜表面镀制增透膜，通过改变增透膜组成成分、显微组织和晶体结构，可有效地改善 CVD 金刚石膜自身理论透过率的问题。首先，介绍了 CVD 金刚石表面镀制单层增透膜增透原理，并总结了物理和化学气相沉积技术制备增透膜的优缺点。然后，重点综述了近年来 CVD 金刚石表面氮化物、金属氧化物和稀土金属氧化物等增透膜材料的研究进展，详细分析了增透膜制备参数、热处理工艺、衬底表面改性和掺杂工艺对增透膜整体组织和性能影响的规律。其中优化增透膜沉积温度、氧分压和热处理等工艺参数，是通过改变增透膜微观组织形貌以及晶体结构来提高其光学透过性能，而改变衬底表面结构能够通过改变增透膜与基体之间的成键方式来提升界面结合能力，而稀土元素掺杂方式是通过改变增透膜化学组成成分来改善增透膜的光学透过性能，并指出掺杂元素成型机理和影响机制。最后，展望了未来 CVD 金刚石表面增透膜的发展方向。

  • 2022-01-27
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区域产业园区群统筹整合规划方法探索

开发区数量多、密度大以及由此导致的开发区之间、开发区与城市之间的恶性竞争，已经成为制约我国城乡空间可持续发展的突出问题。据统计，2014年中国大陆地区仅国、省两级开发区数量就达到 1610个，每个省级单元平均达 52 个。作为开发区大省江苏省的省会，南京市目前仅主城区周边的国家和省级开发区就达到9个之多，开发区之间除了无法占据的长江、山体和重要保护性空间之外，相互之间已经“短兵相接”，并形成了“园区围城”的态势，主城区成为了“园中城”。这种开发区围城的现象，已经成为全国主要城市的基本景观和格局特征，由此带来的园区之间、园区与城市之间的冲突、矛盾和恶性竞争等，严重制约了城市空间的理性发展和科学布局，也对园区发展的总体效益产生了显著的抑制作用。

  • 2022-01-27
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区域城市化的“山—海”差异及其启示

生态保护红线的划定是一种多尺度的系统性方案。在市域层面，针对城市重要的生态功能区、敏感区和脆弱区等，重点确定生态保护红线区的结构和总量，明确一类区、二类区的范围、面积及其空间管制策略。在中心城区层面，需在定性描述的基础上采用分类控制、边界控制及指标控制的方法，对概念性方案加以细化。同时，中心城区是城市集中建设的区域，也产生了多项规划的交叉管制，生态保护红线要与各项规划相协调，实现多规融合。

  • 2022-01-27
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