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金刚石复合片ELID精密磨削工艺及机理研究

金刚石复合片由金刚石微粉层、结合剂过渡层和硬质合金层三部分组成。将金刚石微粉和硬质合金基片在超高压（5-7GPa）、高温（1400-1700℃）条件下烧结，使得金刚石复合片具有高硬度、高耐磨性、导热性、强度特性和抗冲击的韧性，在切削刀具、专用钻头、特殊耐磨工具领域具有很高的应用价值。

  • 2022-01-28
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精密和超精密磨削机理及磨削砂轮选择的研究

精密加工是指加工精度为1 ~ 0. 1μm、表面粗糙度值为Ra0. 2 ~ 0. 025μm的加工技术；超精密加工是指加工精度高于0. 1μm，表面粗糙度值小于Ra0. 025μm的加工技术。目前超精密加工已进入纳米级，并称为纳米加工及相应的纳米技术。精密磨削是目前对钢铁等黑色金属和半导体等脆硬材料进行精密加工的主要方法之一，在现代化的机械和电子设备制造技术中占有十分重要的地位。

  • 2022-01-28
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5G无源室分场景下的分布式MIMO研究与应用

5G时代，绝大部分的应用将发生在室内场景，室内覆盖将是5G深度覆盖和容量吸收的重要手段，而5G信号穿透墙体更加困难，室内将更加依赖室分覆盖。目前绝大部分普通楼宇、隧道等场景的覆盖普遍选择成本较低、速率和容量受限的传统无源室分，为了提升无源室分的速率和容量，针对5G分布式MIMO做了深入的研究和应用，对推动5G低成本无源室分的建设有着重要意义。

  • 2022-01-28
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6G通感融合的愿景及典型技术探讨

通感融合是6G中一个较为突出的技术方向，它通过平衡通信和感知的需求，在继承现有网络架构或重构网络架构的基础上，实现通信和感知的一体化、设备能力的多样化和节能化。对6G通感融合的应用场景、愿景和典型技术进行探讨和分析。首先，从2个维度介绍6G通感融合的应用场景；然后，阐述6G通感融合的愿景及其典型技术；最后，对6G通感融合的发展趋势进行总结。

  • 2022-01-28
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超精密加工技术的发展及对策

超精密加工目前尚没有统一的定义，在不同的历史时期，不同的科学技术发展水平情况下，有不同的理解。通常我们把被加工零件的尺寸精度和形位精度达到零点几微米，表面粗糙度优于百分之几微米的加工技术称为超精密加工技术。

  • 2022-01-28
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单晶碳化硅晶片高效超精密抛光工艺

目前，国内外学者研究了许多碳化硅衬底平坦化技术，如机械研磨［1－2］、磁流变抛光［3］、离子束抛光［4－5］、化学机械抛光［6－7］ 等． 为了获得一定的形状，一般采用数控研抛技术对碳化硅反射镜进行研磨，其材料去除机理为机械破碎去除，会对工件造成一定的微损伤［1－2］． 王芳杰等［3］进行 6H－SiC 单晶片的磁流变抛光工艺实验，最终获得的加工表面粗糙度 Ｒa 为 0． 5 nm，亚表面破坏层深度为 1． 5 nm． Deng 等［4－5］提出等离子体辅助抛光单晶碳化硅的方法，借助大气压下水蒸气等离子体辐射进行表面改性并使用 CeO2磨料抛光，获得无损伤和原子级平坦化的碳化硅表面，但抛光前需要对表面进行适当的改性处理． Chen 等［6］采用硅溶胶对机械研磨后的碳化硅衬底进行化学机械抛光，获得表面粗糙度 ＲMS0．096 nm 的超光滑表面．

  • 2022-01-28
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半导体设备及材料行业综合分析

全球设备市场创新高，受益于制程进步、资本开支提升 2020 年全球半导体设备市场规模创 700 亿美元新高，大陆首次占比全球第一。根据 SEMI，2020 年半导体设备销售额 712 亿美元，同比增长 19%，全年销售额创历史新高。大陆设备市场在 2013年之前占全球比重为 10%以内，2014~2017年提升至 10~20%， 2018 年之后保持在 20%以上，份额呈逐年上行趋势。2020 年，国内晶圆厂投建、半导 体行业加大投入，大陆半导体设备市场规模首次在市场全球排首位，达到 181 亿美元， 同比增长 35.1%，占比 26.2%。2021-2022年，存储需求复苏，韩国领跑全球，但大陆 设备市场规模仍将保持在约 160 亿美元高位。

  • 2022-01-28
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新型工业材料加工用金刚石工具

我国金刚石工具的发展大概经历了地质勘探、石材和建材加工等传统的大发展阶段，其代表产品包括地质钻头、金刚石锯片、绳锯，框架锯等。随着技术的不断进步，以及国家对环保理念的不断普及，金刚石工具不断进入新领域，如光伏半导体晶硅加工，LED领域的蓝宝石加工以及其它硬脆贵重材料的加工；新产品、新技术研发方面不断取得突破，新一代高附加值的金刚石工具被不断地开发出来，如高精度套料钻头、超细粒度金刚石砂轮、金刚石超薄切割片、金刚石线锯等，已经在新型工业材料加工中发挥着重要的作用。同时，相对于传统领域，新兴领域对金刚石工具提出了更高的要求，要求有更高的精度、更好的性能以及更为复杂的制造工艺，尽最大可能精细精密金刚石工具，对金刚石工具制造业来说是一个挑战。

  • 2022-01-28
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