GIS（气体绝缘金属封闭开关）因其检修方便、使用寿命长、占地面积小等优点得到广泛使用[1-2]。作为目前GIS设备中的主要绝缘气体，SF6物化性质稳定，通常情况下不易分解，但是由于GIS内部总存在不同类型的缺陷，在GIS的运行过程中，缺陷处可能产生局部放电。在局部放电的作用下，SF6气体可能分解产生低氟化物，由于设备内部水分或氧气会与低氟化物发生一系列水解或氧化反应，产生一系列副产物，如SOF2，SO2F2，SO2，CF4，C2F6，CO2，HF，H2S等[3-4]。这些副产物不但会降低SF6气体的绝缘性能，同时HF与H2S也会对GIS内部造成一定的腐蚀，缩短设备寿命。因此，可以通过对SF6分解组分的分析来判断GIS内部发生的绝缘缺陷，从而有效避免故障的扩大。
