随着工业4.0智能制造概念的提出，越来越多的行业开始深入发展自动化、高精密与超高精密等尖端制造技术，智能制造、柔性制造以及极端制造的日益繁荣对于精密、超精密零部件的需求越来越大，这种需求加速了机械加工技术向精密、超精密方向大步迈进。目前，AR、裸眼3D等技术已经走入人们的日常生活，这些都离不开自由曲面透镜的加工与生产，同时也离不开高精度的测量。超精密模具经过离线检测后有时需要机床再次加工，为了避免机床再加工时引入装夹误差一般采用在位测量的方式，这种测量可以适应不同测量环境以及完成各种轮廓形貌的测量，可是即便超精密机床也存在一定的直线度误差，扫描测量过程中这些直线度误差或多或少会影响扫描测量的精度。一般的多测头扫描测量方法可以有效的分离出导轨或者运动平台的直线度误差，然而采用多测头又引入新的误差，因此多测头扫描测量方法具有一定的局限性。本文基于柔性铰链机构特性设计出了重复定位精度极好的微动平台，利用一个测头完成多测头扫描的虚拟多测头扫描测量方法，用来提高扫描测量的效率，完成待测工件轮廓形貌的高精度重构。
