中服云FTA故障树诊断工具详解

中服云工业物联网平台提供的FTA(Fault Tree Analysis)故障树诊断工具,是基于"顶事件-中间事件-底事件"逻辑拆解的可视化诊断模块,可精准定位设备故障根源,尤其适用于半导体制造企业晶圆制造和封测业务中的复杂设备故障分析。该工具以图形化方式演绎故障逻辑,从整机故障现象起始,层层剖析诱因,为预测性维护提供强有力的支持。

  • 2025-09-25
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