半导体设备深度专题:半导体设备行业国产化现状分析

从晶圆厂内各工艺环节来看,薄膜沉积、光刻、刻蚀设备是产线中总价值量最高的三类半导体设备,2021年均占全球半导体设备市场的20%以上。

  • 2022-09-23
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