基于光场式时栅光强分布的空间调制优化方法研究

随着智能制造的不断发展,现代精密位移测量技术在工业生产中扮演越来越重要的角色,其中最为主要的测量方式为光学位移测量,常见的高精度光学测量有光栅位移测量和激光干涉测量。但是,由于高精度光栅位移传感器存在加工难度大制造成本高,以及激光干涉仪价格昂贵使用环境苛刻等问题,作者所在课题组开展了光场式时栅的研究。前期研制的光场式时栅位移传感器利用光强进行时间和空间调制实现位移测量,但是存在光强空间调制精度不高的问题,因此本文进行了光强分布的空间调制优化方法的研究,主要开展了以下研究工作

  • 2021-07-01
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