机载LiDAR测量技术发展经历了4个阶段：最早源于机载激光测距技术，于20世纪60年代开始试验研究。直到80年代末，GPS得到成功应用，才使得机载激光测距技术发展为机载激光剖面测量系统，并实现大范围应用。到了90年代，随着GPS定位技术发展，激光扫描测距技术（SLR）和惯性导航技术（INS）的突破，奠定了从空中直接、快速获取地面目标三维坐标的技术基础，由GPS、INS、SLR集成的机载激光扫描系统代替了激光剖面测量系统，形成了早期的机载LiDAR测量技术。直至90年代后期，机载激光扫描技术逐步完善，应用更加成熟，并结合摄影测量技术，加载了数码相机，同时获取航摄影像，将机载LiDAR与摄影测量完美结合，形成技术互补，大大提升了航空测量的技术能力和应用领域。
