碳化硅单晶衬底加工技术现状及发展趋势

碳化硅单晶具有极高的硬度和脆性,传统加工方式已经不能有效地获得具有超高光滑表面的碳化硅晶片。针对碳化硅单晶衬底加工技术,本文综述了碳化硅单晶切片、薄化与抛光工艺段的研究现状,分析对比了切片、薄化、抛光加工工艺机理,指出了加工过程中的关键影响因素和未来发展趋势。

  • 2022-01-28
  • 收藏0
  • 阅读75
  • 下载0
  • 9页
  • docx
  • 1.13M

评价

评分 :
   *