半导体设备监诊与预防保养解决方案

机台运转需要依靠许多真空泵来维持,真空泵在长期运作下面临着定期维护及超额运转等机械稳定度问题。在一个科技厂会使用数千台真空泵,在传统人工巡检下会花费过多的人力与时间且无法完整及时掌握设备运转状态。本系统可以及时分析设备运转状态并结合既有FDC系统进行设备与设备间的讯息沟通及判断。本系统用于生产管理可通过减少人力统计所耗费的错误时间,及有效反应各设备的运转问题点并对其效能状态加以分析,达到改善并提高生产效能的目标。

  • 2024-02-20
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