蓝宝石衬底材料化学机械抛光工艺研究

介绍了蓝宝石衬底的化学机械抛光(CMP)工艺,阐述了蓝宝石衬底的应用发展前景以及加工工艺中存在的问题,总结了影响CMP工艺的多种因素,并系统地分析了蓝宝石抛光工艺过程的性能参数及其影响因素,提出了优化方案,采用大粒径、低分散度的磨料,加入有机碱及活性剂,能够有效提高蓝宝石表面的性能及加工效率。

  • 2022-01-31
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