微/纳米科学与技术是当今集机械工程、仪器科学与技术、光学工程、生物医学工程与微电子工程所产生的新兴、边缘、交叉前沿学科技术。微/纳米系统技术是以微机电系统为研究核心，以纳米机电系统为深入发展方向，并涉及相关微型化技术的国家战略高新技术[1]。微机电系统(Micro Electro MechanicalSystem,MEMS )和纳机电系统(Nano Electro Mechanical System,NEMS )是微米纳米技术的重要组成部分，逐渐形成一个新的技术领域。MEMS 已经在产业化道路上发展，NEMS 还处于基础研究阶段[2]。
