人形机器人:自动驾驶的下一个风口,高性能MEMS

MEMS加速度计是MEMS领域最早开始研究的传感器之一,它的工作原理就是靠MEMS中可移动部分的惯性。由于中间电容板的质量很大,而且它是一种悬臂构造,当速度变化或者加速度达到足够大时,它所受到的惯性力超过固定或者支撑它的力,这时候它会移动,它跟上下电容板之间的距离就会变化,上下电容就会因此变化。电容的变化 跟加速度成正比。

  • 2023-10-23
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