精密和超精密磨削机理及磨削砂轮选择的研究

精密加工是指加工精度为1 ~ 0. 1μm、表面粗糙度值为Ra0. 2 ~ 0. 025μm的加工技术;超精密加工是指加工精度高于0. 1μm,表面粗糙度值小于Ra0. 025μm的加工技术。目前超精密加工已进入纳米级,并称为纳米加工及相应的纳米技术。精密磨削是目前对钢铁等黑色金属和半导体等脆硬材料进行精密加工的主要方法之一,在现代化的机械和电子设备制造技术中占有十分重要的地位。

  • 2022-01-28
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