大尺寸单晶硅片加工技术简介

硅元素在地壳中的含量仅次于氢元素和氧元素,其主要以化合物的形式广泛存在于自然界中。在20世纪,人们发现硅的半导体性质后,硅材料即作为基础性材料被陆续用于晶体管和集成电路等半导体产业中。由于硅的储量丰富,价格低廉等特点,使其在半导体材料中居于极为重要的地位,并随着科技进步而蓬勃发展。

  • 2022-01-28
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