超精密加工设备的发展与展望

在传统空气静压和液体静压轴 承的基础上,通过控制节流量反馈方 法来实现运动的主动控制从而提高 轴承的刚度。磁悬浮主轴技术, 永 磁、电磁和气浮结合的控制方案也一 直在研究中。多孔材料的气浮轴承 可以提高气浮轴承的刚度。液体静 压轴承具有刚度高、动态特性好等特 点,但发热是其致命的弱点,水静压 轴承的研制正是针对这一问题进行 的。与油静压轴承相比,这种轴承的 优点是轴承发热较小,适合于高速运 转,而且没有污染,特别适合硅片加 工等行业。

  • 2022-02-05
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