金刚石线锯切割设备现状与设计初探

随着光伏产业、半导体等高精端产业的发展,硬脆性材料,如单晶硅、多晶硅、宝石、玻璃、陶瓷等材料的切割加工显得犹为重要。近年来,世界各国研究开发其切割设备,新工艺,新设备不断涌现。而金刚石线锯切割设备成为研究和发展的主流趋势,本文介绍国外硅片切割设备研究的最新进展以及国内发展状况,并介绍笔者参与研制的金刚石环形线锯机的功能、特点和设计心得体会及金刚石单线和环线切割机应用前景展望。

  • 2022-02-07
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