：针对数字PcR体系样品的分割方式，开发了一款数字PCR体系样品分割芯片，用于微量生物样品检测。利用微 机电系统（MEMS）制备阵列化的硅基片，采用硅片高效低损伤超精密磨削减薄工艺对硅基片进行减薄，结合化学改性方 法，成功制备了表面疏水孔壁亲水的毛细管微阵列芯片。通过扫描电子显微镜（sEM）对芯片结构进行表征，sEM结果 显示，芯片结构为通孔微阵列。通过接触角表征芯片表面的疏水性，对比化学处理前后芯片表面的接触角，结果表明化 学处理后芯片表面疏水，接触角为118。。通过能谱（EDS）表征芯片孔壁的亲水性，结果表明，芯片孔壁只有Si，0两种元 素，形成亲水基团，因此，芯片孔壁亲水。通过测量显微镜和荧光显微镜表征芯片的样品分割性能，结果表明芯片将样品 分割为均一的独立单元。通过激光共聚焦扫描仪表征，直观地反应了芯片的整体样品分割效果，通过计算芯片的样品填 孔率为93．8％。本文成功制备了表面疏水孔壁亲水的毛细管微阵列芯片，该芯片具有优异的样品分割性能，在生物医 学领域具有广阔的应用前景
