基于波长调制的具有大测量范围的超小位移传感器

光学位移传感器可用于实现精密器件位置移动的探测和感知,在纳米制造技术中具有重要作用。虽然传统的光学位移传感器具有高分辨率的特性,但是尺寸较大,限制其应用领域。为此,科学家们引入光学纳米天线,通过探测天线和光场的相互作用来实现超小型的光学位移传感器,但目前此类传感器的分辨率和测量范围仍需进一步提升。因此实现一种兼具超小尺寸、埃量级分辨率和大测量范围的传感器仍是一个重要的研究课题。

  • 2022-03-17
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