基于物联网平台的芯片制造设备预测性维护解决方案

芯片制造作为高精度产业,其生产过程存在制程稳定要求高,设备综合效率要求高,工序间关联性强等特点。在芯片制造过程中,单晶炉、光刻机、刻蚀机等关键设备的稳定性直接影响着整个生产线的效率和产品良率。传统的设备维护方式主要以定期维护和事后维修为主

  • 2025-09-26
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