设备状态监测技术与设备故障诊断技术既有区别也有联系，监测是诊断的基础和前提，诊断是监测的最终结果。有时又将二者统称为设备故障诊断，可分为简易诊断和精密诊断两个层次。简易诊断即设备的“健康检查”，根据量值范围判断设备是正常还是异常。简易诊断的作用是监测和保护，目的是对设备的状态做出迅速而有效的概括和评价，由操作者、维护者实施。而精密诊断是在简易诊断基础上更深层次的诊断，目的是判断故障的性质（渐进性/突发性……）、原因（不平衡/不对中……）、部位（电动机/风机、轴承/齿轮……）、程度（一般故障/严重故障……）等，由专业诊断技术人员实施。
