半绝缘碳化硅单晶衬底的研究进展

半导体产业发展至今经历了三个阶段:第一代半导体材料以硅为代表,主要应用在以集成电路(IC)为核心的信息电子领域;第二代半导体材料以砷化镓等化合物半导体为代表,主要应用在光电子领域、通信领域;第三代半导体材料的兴起,则是以氮化镓(GaN)薄膜材料的 P 型掺杂的突破为起点,以高亮度蓝光发光二极管(LED)和蓝光激光器(LD)的研制成功为标志。

  • 2022-01-28
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