随着智能制造装备的应用场景对高精度、高速度、高加速度的多自由度运动能力需求越来越迫切,其核心机构的动力学问题成为决定智能制造装备性能的关键问题,严重影响了其工作精度、运行可靠性和寿命周期。以并联机构为给定功能本体的多自由度智能制造装备,因其具有多条运动支链,每条运动支链又含有多个运动副,运动副具有间隙、磨损、润滑等特性,这些运动副特性均能对装备的高速和高精度运行产生不可忽视的动态影响,因此智能装备中并联机构的运动副特性对动力学性能的影响在装备研究领域重视程度与日俱增。围绕智能装备中并联机构本体的高速、高加速度应用需求,本文以面向电子制造装备研发的 3 自由度构型的 3-PRR 平面精密定位平台为研究对象,考虑高速、高加速度下运动副间隙、磨损、润滑特性对机构动力学性能的影响展开理论与实验研究。